[实用新型]一种半导体设备传动输送机构有效
| 申请号： | 202223201098.6 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN218908585U | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 代永宣 | 申请（专利权）人： | 昆山市广程机械设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G13/06 | 分类号： | B65G13/06;B65G39/09;B08B3/02 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 周勤径 |
| 地址： | 215321 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备传动输送机构，其包括支架底板，所述支架底板上设置有两处主动轴支架板和两处从动轴支架板，所述两处主动轴支架板上设置有主动轴，所述两处从动轴支架板上设置有从动轴，所述主动轴与从动轴垂直，所述主动轴上固定设置有主动磁力轮，所述从动轴上固定设置有从动磁力轮，所述主动磁力轮与从动磁力轮邻近且相对设置，所述主动磁力轮转动时带动从动磁力轮转动。本实用新型的清洗设备采用无接触动力传动方式，在清洗设备对半导体产品进行传动输送和清洗时不会产生金属碎屑或金属粉尘，有利于保证生产车间的无尘环境符合生产要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 传动 输送 机构 | ||
【主权项】：
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