[实用新型]一种立体缓存设备有效
申请号: | 202223183527.1 | 申请日: | 2022-11-29 |
公开(公告)号: | CN218859393U | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
发明(设计)人: | 林嘉宏;薛联金;王志峰 | 申请(专利权)人: | 厦门普诚半导体科技有限公司 |
主分类号: | B65G1/04 | 分类号: | B65G1/04;B65G1/02 |
代理公司: | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人: | 程劲竹 |
地址: | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种立体缓存设备,包括存放架,所述存放架内设置多个存放位,每个存放位边框固定安装有用于存放晶圆盒的放置架,所述存放架的内壁固定安装有搬运晶圆盒的搬运装置,所述存放架的下方设置有放置台。本实用新型的有益效果是:通过搬运装置将位于放置台上的晶圆盒搬运至位与存放架固定连接的放置架上,从而实现对晶圆盒进行暂时缓存起来,当需要用到的时候再通过搬运装置将晶圆盒搬运至放置台上,从而实现自动存取,减少搬运系统的搬运路程从而减少占用的时间,提高搬运效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 立体 缓存 设备 | ||
【主权项】:
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