[实用新型]一种立体缓存设备

权利要求书

1.一种立体缓存设备，包括存放架(1)，其特征在于：所述存放架(1)内设置多个存放位，每个存放位边框固定安装有用于存放晶圆盒(4)的放置架(5)，所述存放架(1)的内壁固定安装有搬运晶圆盒(4)的搬运装置(2)，所述存放架(1)的下方设置有放置台(3)。

2.根据权利要求1所述的一种立体缓存设备，其特征在于：所述搬运装置(2)包括固定安装在存放架(1)内壁两侧的安装板(21)，每个所述安装板(21)上均固定安装有第一直线运动模组(22)，两个所述第一直线运动模组(22)动力输出端之间固定安装有连接板(23)，所述连接板(23)侧面安装设置第二直线运动模组(24)，所述第二直线运动模组(24)动力输出端安装有搬运架(25)。

3.根据权利要求2所述的一种立体缓存设备，其特征在于：所述搬运架(25)包括与第二直线运动模组(24)输出端连接的固定板(251)，所述固定板(251)上部侧面固定安装顶板(252)，所述顶板(252)底面的放置槽的底部边缘固定安装有承载板(253)，位于放置槽内的所述承载板(253)的上表面固定设置有多个第一定位销(254)。

4.根据权利要求3所述的一种立体缓存设备，其特征在于：所述晶圆盒(4)的上表面设置有与放置槽适配的转运板(6)，所述转运板(6)侧边开设有与第一定位销(254)适配的定位口(7)。

5.根据权利要求1所述的一种立体缓存设备，其特征在于：所述放置架(5)包括与存放架(1)固定连接的放置板(51)，所述放置板(51)的上表面固定安装设置有第二定位销(52)，所述放置板(51)的侧边固定连接有护板(53)。

6.根据权利要求5所述的一种立体缓存设备，其特征在于：所述晶圆盒(4)的底面开设有与第二定位销(52)适配的定位槽(8)。

7.根据权利要求6所述的一种立体缓存设备，其特征在于：所述放置台(3)上表面也安装有与定位槽(8)适配的第二定位销(52)。

8.根据权利要求2所述的一种立体缓存设备，其特征在于：所述安装板(21)侧面固定安装有若干个定位板(10)，所述第一直线运动模组(22)动力输出端侧面安装有与定位板(10)适配的定位开关(9)。

9.根据权利要求5-7任一项所述的一种立体缓存设备，其特征在于：所述第二定位销(52)呈三角分布。

10.根据权利要求6所述的一种立体缓存设备，其特征在于：所述定位槽(8)呈腰型孔形。