[实用新型]一种立体缓存设备

说明书

本实用新型公开了一种立体缓存设备，包括存放架，所述存放架内设置多个存放位，每个存放位边框固定安装有用于存放晶圆盒的放置架，所述存放架的内壁固定安装有搬运晶圆盒的搬运装置，所述存放架的下方设置有放置台。本实用新型的有益效果是：通过搬运装置将位于放置台上的晶圆盒搬运至位与存放架固定连接的放置架上，从而实现对晶圆盒进行暂时缓存起来，当需要用到的时候再通过搬运装置将晶圆盒搬运至放置台上，从而实现自动存取，减少搬运系统的搬运路程从而减少占用的时间，提高搬运效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆盒存放技术领域，特别是一种立体缓存设备。

背景技术

在半导体产品生产过程中，需要使用OHT转运系统对产品在多个工序之间进行搬运，但是由于设备较多，全部需要OHT系统来搬运的话会增大其工作强度以及使用时间，所以需要一些缓存装置暂时将这些进行加工的产品进行存放来缓解OHT系统的占用时间，为此我们提供一种立体缓存设备来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种立体缓存设备。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种立体缓存设备，包括存放架，所述存放架内设置多个存放位，每个存放位边框固定安装有用于存放晶圆盒的放置架，所述存放架的内壁固定安装有搬运晶圆盒的搬运装置，所述存放架的下方设置有放置台。

优选的，所述搬运装置包括固定安装在存放架内壁两侧的安装板，每个所述安装板上均固定安装有第一直线运动模组，两个所述第一直线运动模组动力输出端之间固定安装有连接板，所述连接板侧面安装设置第二直线运动模组，所述第二直线运动模组动力输出端安装有搬运架。

优选的，所述搬运架包括与第二直线运动模组输出端连接的固定板，所述固定板上部侧面固定安装顶板，所述顶板底面的放置槽的底部边缘固定安装有承载板，位于放置槽内的所述承载板的上表面固定设置有多个第一定位销。

优选的，所述晶圆盒的上表面设置有与放置槽适配的转运板，所述转运板侧边开设有与第一定位销适配的定位口。

优选的，所述放置架包括与存放架固定连接的放置板，所述放置板的上表面固定安装设置有第二定位销，所述放置板的侧边固定连接有护板。

优选的，所述晶圆盒的底面开设有与第二定位销适配的定位槽。

优选的，所述放置台上表面也安装有与定位槽适配的第二定位销。

优选的，所述安装板侧面固定安装有若干个定位板，所述第一直线运动模组动力输出端侧面安装有与定位板适配的定位开关。

优选的，所述第二定位销呈三角分布。

优选的，所述定位槽呈腰型孔形。

本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型通过搬运装置将位于放置台上的晶圆盒搬运至位与存放架固定连接的放置架上，从而实现对晶圆盒进行暂时缓存起来，当需要用到的时候再通过搬运装置将晶圆盒搬运至放置台上，从而实现自动存取，减少搬运系统的搬运路程从而减少占用的时间，提高搬运效率。

2、本实用新型通过在承载板上安装设置第一定位销使其与转运板上的定位口进行定位，防止在对晶圆盒搬运过程中发生相对移动，使搬运更加平稳。

3、本实用新型在放置板的上表面固定设置第二定位销以及在晶圆盒的底面设置与第二定位销适配的定位槽，能够在放置板放置的时候使晶圆盒完全固定在上面，防止晶圆盒发生相对移动而发生掉落。

附图说明

图1为本实用新型的晶圆盒放置状态下整体示意图。

图2为本实用新型的无晶圆盒放置状态下整体示意图。