[实用新型]一种平面阴极供气系统管路有效
| 申请号： | 202223174337.3 | 申请日： | 2022-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN218666262U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 匡国庆;匡静;万安江 | 申请（专利权）人： | 镇江市德利克真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙) 32358 | 代理人： | 严靖 |
| 地址： | 212000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种平面阴极供气系统管路，属于平面阴极配套设备技术领域。该平面阴极供气系统管路包括管路座以及沿长度方向设置于管路座上的多个上压条；管路座的其中一面上开设有至少一个主气口，另一面上至少开设有一个辅气口；每个主气口依次连接主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路，且主三级分气路与管路座上开设的缓冲室，使得主气口的气流经过主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路后进入缓冲室；每个辅气口依次连接辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路；每个上压条内至少开设有一个混合腔，缓冲室以及每个辅气口的辅三级分气路端部均与混合腔连通，使得主气口与辅气口导入的气体在混合腔内进行混合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 阴极 供气 系统 管路 | ||
【主权项】：
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