[实用新型]一种平面阴极供气系统管路

权利要求书

1.一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，包括管路座（1）以及沿长度方向设置于所述管路座（1）上的多个上压条（2）；

所述管路座（1）的其中一面上开设有至少一个主气口（3），另一面上至少开设有一个辅气口（4）；

每个所述主气口（3）依次连接主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路，且主三级分气路与所述管路座（1）上开设的缓冲室（5），使得主气口（3）的气流经过主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路后进入所述缓冲室（5）；

每个所述辅气口（4）依次连接辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路；

每个所述上压条（2）内至少开设有一个混合腔（201），所述缓冲室（5）以及每个所述辅气口（4）的辅三级分气路端部均与所述混合腔（201）连通，使得主气口（3）与所述辅气口（4）导入的气体在所述混合腔（201）内进行混合。

2.如权利要求1所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，每个所述上压条（2）上均开设有出气口（202），通过所述出气口（202）将所述混合腔（201）内的混合气体导入真空室。

3.如权利要求1所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，所述主气口（3）开设有两个，分别为对称分布于所述管路座（1）两侧的第一主气口和第二主气口。

4.如权利要求3所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，所述主气口（3）的主一级分气路为单一气路，而主二级分气路和主三级分气路均为一分为二气路结构，使得每个所述主气口（3）经主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路分流后形成四条分气流进入缓冲室（5）。

5.如权利要求4所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，所述缓冲室（5）开设有两个，分别用于缓冲第一主气口和第二主气口导入的气体。

6.如权利要求1所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，所述辅气口（4）开设有9个，均匀分布于所述管路座（1）上。

7.如权利要求6所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，每个所述辅气口（4）的辅一级分气路为单一气路，而辅二级分气路和辅三级分气路均为一分为二气路结构，使得每个所述辅气口（4）经辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路分流后形成四条分气流。

8.如权利要求7所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，所述上压条（2）设有9个，每个所述上压条（2）中开设有4个混合腔（201），每个混合腔（201）均对应辅三级分气路端部的一条气流。

9.如权利要求8所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，所述上压条（2）密封连接于所述管路座（1）上，所述缓冲室（5）通过多条第一流道（6）分别与所述混合腔（201）连通，所述辅三级分气路端部分别通过第二流道（7）与所述混合腔（201）连通，使得主气口（3）与辅气口（4）的气体在所述混合腔（201）内均匀混合。

10.如权利要求9所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，所述第一流道（6）与所述混合腔（201）的连通处螺纹连接有堵头（8），使得该平面阴极供气系统管路能够单独供辅气口（4）导入的一种气体。