[实用新型]一种旋转阴极供气系统管路有效
| 申请号： | 202223174321.2 | 申请日： | 2022-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN218666261U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 匡国庆;匡静;万安江 | 申请（专利权）人： | 镇江市德利克真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙) 32358 | 代理人： | 严靖 |
| 地址： | 212000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种旋转阴极供气系统管路，属于旋转阴极配套设备技术领域。该旋转阴极供气系统管路包括管路座，所述管路座的其中一面上开设有一个主气口和多个辅气口；所述主气口依次连接主一级分气路、主二级分气路、主三级分气路和主四级分气路；每个所述辅气口依次连接辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路；所述管路座的另一面上间隔开设有多个缓冲室，所述主四级分气路以及辅三级分气路端部均贯穿所述管路座与对应的所述缓冲室连通。该旋转阴极供气系统管路通过多个均匀间隔分布的缓冲室将工作气体均匀地导入真空室的各个部分，从而实现工作气体的均匀分布和均匀控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 阴极 供气 系统 管路 | ||
【主权项】：
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