[实用新型]一种旋转阴极供气系统管路

权利要求书

1.一种旋转阴极供气系统管路，其特征在于，包括管路座（1），

所述管路座（1）的其中一面上开设有一个主气口（2）和多个辅气口（3）；

所述主气口（2）依次连接主一级分气路、主二级分气路、主三级分气路和主四级分气路；

每个所述辅气口（3）依次连接辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路；

所述管路座（1）的另一面上间隔开设有多个缓冲室（4），所述主四级分气路以及辅三级分气路端部均贯穿所述管路座（1）与对应的所述缓冲室（4）连通。

2.如权利要求1所述的一种旋转阴极供气系统管路，其特征在于，所述主一级分气路、主二级分气路和主四级分气路均为一分为二气路结构。

3.如权利要求2所述的一种旋转阴极供气系统管路，其特征在于，所述主三级分气路为一分为三气路结构，所述主气口（2）的气流经主一级分气路、主二级分气路、主三级分气路和主四级分气路分流后形成24条分气流。

4.如权利要求1所述的一种旋转阴极供气系统管路，其特征在于，所述辅气口（3）开设有五个，分别为第一辅气口、第二辅气口、第三辅气口、第四辅气口和第五辅气口；其中第二辅气口以及第三辅气口和第四辅气口以及第五辅气口对称分布于第一辅气口两侧。

5.如权利要求4所述的一种旋转阴极供气系统管路，其特征在于，所述第一辅气口的辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路均为一分为二气路结构，使得所述第一辅气口的气流经辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路分流后形成8条分气流；

而第二辅气口、第三辅气口、第四辅气口和第五辅气口的辅一级分气路为单一气路，辅二级分气路和辅三级分气路为一分为二气路结构，使得所述第二辅气口、第三辅气口、第四辅气口和第五辅气口的气流辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路分流后形成16条分气流。

6.如权利要求1所述的一种旋转阴极供气系统管路，其特征在于，所述管路座（1）上间隔设置有多个缓冲块（5），所述缓冲室（4）为腰型，开设于所述缓冲块（5）上。

7.如权利要求6所述的一种旋转阴极供气系统管路，其特征在于，所述主四级分气路以及辅三级分气路端部分别贯穿腰型缓冲室（4）两端。

8.如权利要求6所述的一种旋转阴极供气系统管路，其特征在于，所述缓冲块（5）的中间位置开设有混合气体分路（6），所述混合气体分路（6）与缓冲室（4）连通，用于导出缓冲室（4）内混合均匀的气体。

9.如权利要求8所述的一种旋转阴极供气系统管路，其特征在于，所述混合气体分路（6）从缓冲室（4）中间向两侧延伸。