[实用新型]一种MPCVD腔体结构

摘要

本实用新型公开了一种MPCVD腔体结构，包括支撑台、腔体、微波发生装置、进气管、阀门、出气管、滑板、密封盖板、支撑座、衬底基座和连接杆。本实用新型的有益效果是：首先通入气体，随后启动微波发生装置，在微波的激励下，在反应室内产生辉光放电，使反应气体的分子离化，产生等离子体，在衬底基座上沉积得到产品金刚石，随后为了便于快速取出产品，只需通过驱动滑板滑动，进而滑板带动密封盖板向顶部运动，便于打开腔体，同时密封盖板带动连接杆和衬底基座一起向顶部运动，便于将衬底基座和产品移出至腔体外，方便在取出产品时，避免腔体过热导致烫伤，同时衬底基座位于腔体的外侧，方便单独快速散热，方便快速拿取产品，使用方便。