[实用新型]一种抛光垫产品的检测切片工装有效
| 申请号： | 202223139493.6 | 申请日： | 2022-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN218947774U | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 张莉娟;杨波 | 申请（专利权）人： | 上海芯谦集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B26D1/06 | 分类号： | B26D1/06;B26D7/01;B26D7/26 |
| 代理公司： | 上海格联律师事务所 31412 | 代理人： | 陈源源 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区自由贸易试*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种抛光垫产品的检测切片工装，包括：冲压模块，冲压模块包括机架、悬浮板、垂直气缸和切割机构，悬浮板安装于机架上，并且具有竖直方向移动的自由度，垂直气缸安装于悬浮板上，垂直气缸的伸缩杆竖直向下，伸缩杆的端部连接切割机构；载料模块，固定于机架的底部，载料模块包括用于放置抛光垫样件的载料模穴，载料模穴位于切割机构的正下方。与现有技术相比，本实用新型可以更加简单有效且更精确地对抛光垫样件进行切片，切片时抛光垫样件摆放于载料模穴中可以形成固定并确保样件稳定可靠，同时能保证安全；由此可以有效保证切片后抛光垫截面符合检测要求，可以显著提高切片后SEM电镜分析产品孔径的准确性和规律性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 产品 检测 切片 工装 | ||
【主权项】：
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