[实用新型]一种抛光垫产品的检测切片工装

说明书

本实用新型涉及一种抛光垫产品的检测切片工装，包括：冲压模块，冲压模块包括机架、悬浮板、垂直气缸和切割机构，悬浮板安装于机架上，并且具有竖直方向移动的自由度，垂直气缸安装于悬浮板上，垂直气缸的伸缩杆竖直向下，伸缩杆的端部连接切割机构；载料模块，固定于机架的底部，载料模块包括用于放置抛光垫样件的载料模穴，载料模穴位于切割机构的正下方。与现有技术相比，本实用新型可以更加简单有效且更精确地对抛光垫样件进行切片，切片时抛光垫样件摆放于载料模穴中可以形成固定并确保样件稳定可靠，同时能保证安全；由此可以有效保证切片后抛光垫截面符合检测要求，可以显著提高切片后SEM电镜分析产品孔径的准确性和规律性。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种抛光垫产品的检测切片工装。

背景技术

近年来，半导体行业发展极为迅速，集成电路等各类产品对芯片的需求量持续增加，国内外对晶圆的需求持续快速增长，晶圆加工中，用于晶片抛光工序的抛光垫使用量大，其质量，洁净程度及平整度等对晶片抛光有着举足轻重的影响。对于晶圆的抛光一般采用抛光垫，这种抛光垫是一种厚度为毫米级、材料为聚氨酯的片状体，表面附着颗粒，这种抛光垫在制造过程中，需要先制成一种圆柱状的聚氨酯微孔弹性体。在抛光垫的生产加工时，必须要对物料进行切片并进行SEM电镜检测，以确保生产出的抛光垫符合使用要求。

然而，由于抛光垫主要是由聚氨酯与扩链剂混合后加入发泡材料浇筑而成，这些材料混合后在高温条件下逐渐固化成型，冷却后产品表面比较硬，现有的工人切片要求很高，不合格的切片后会导致产品截面严重损伤和变形，无法进行SEM电镜检测研究分析，即现有的切片方式易导致抛光垫聚氨酯损伤和变形、歪斜等问题，不易检测。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种抛光垫产品的检测切片工装，具有切片效果好以及无损伤变形的特点。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种抛光垫产品的检测切片工装，其特征在于，包括：

冲压模块，所述冲压模块包括机架、悬浮板、垂直气缸和切割机构，所述悬浮板安装于所述机架上，并且具有竖直方向移动的自由度，所述垂直气缸安装于所述悬浮板上，所述垂直气缸的伸缩杆竖直向下，伸缩杆的端部连接所述切割机构；

载料模块，固定于所述机架的底部，所述载料模块包括用于放置抛光垫样件的载料模穴，所述载料模穴位于所述切割机构的正下方。

在另一优选的实例中，所述机架包括顶板、导向杆、第一螺纹杆，所述顶板通过所述导向杆固定于所述载料模块上，第一螺纹杆的顶端旋转连接顶板，底端旋转连接所述载料模块，所述第一螺纹杆和所述导向杆还穿过所述悬浮板，所述第一螺纹杆旋转后带动所述悬浮板沿着所述导向杆移动。

在另一优选的实例中，所述第一螺纹杆穿过所述顶板后连接有第一把手件。

在另一优选的实例中，所述切割机构包括切割刀片、活动板、安装板、引导杆和第二螺纹杆，所述活动板包括互相连接的水平板和竖直板，所述水平板连接所述伸缩杆，所述引导杆的一端穿过所述竖直板，另一端固定连接所述安装板，所述第二螺纹杆穿过所述竖直板后抵靠所述安装板，所述安装板的顶部抵靠水平板，所述切割刀片安装于所述安装板上。

在另一优选的实例中，所述载料模块包括至少两个面压组件，所述面压组件分布于所述载料模穴的侧边，用于下压固定抛光垫样件。

在另一优选的实例中，所述面压组件包括支撑柱，第三螺纹杆，顶面板和移动板，所述顶面板通过支撑柱固定于所述载料模块上，第三螺纹杆的顶端穿过所述顶面板，底端旋转连接所述载料模块，所述第三螺纹杆和所述支撑柱还穿过所述移动板，所述第三螺纹杆旋转后带动所述移动板沿着所述支撑柱移动。

在另一优选的实例中，所述第三螺纹杆的顶端连接有第二把手件。