[实用新型]一种抛光垫产品的检测切片工装有效

专利信息
申请号: 202223139493.6 申请日: 2022-11-25
公开(公告)号: CN218947774U 公开(公告)日: 2023-05-02
发明(设计)人: 张莉娟;杨波 申请(专利权)人: 上海芯谦集成电路有限公司
主分类号: B26D1/06 分类号: B26D1/06;B26D7/01;B26D7/26
代理公司: 上海格联律师事务所 31412 代理人: 陈源源
地址: 201306 上海市浦东新区自由贸易试*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 产品 检测 切片 工装
【权利要求书】:

1.一种抛光垫产品的检测切片工装,其特征在于,包括:

冲压模块(1),所述冲压模块(1)包括机架(11)、悬浮板(12)、垂直气缸(13)和切割机构(14),所述悬浮板(12)安装于所述机架(11)上,并且具有竖直方向移动的自由度,所述垂直气缸(13)安装于所述悬浮板(12)上,所述垂直气缸(13)的伸缩杆竖直向下,伸缩杆的端部连接所述切割机构(14);

载料模块(2),固定于所述机架(11)的底部,所述载料模块(2)包括用于放置抛光垫样件的载料模穴(21),所述载料模穴(21)位于所述切割机构(14)的正下方。

2.根据权利要求1所述的一种抛光垫产品的检测切片工装,其特征在于,所述机架(11)包括顶板(111)、导向杆(112)、第一螺纹杆(113),所述顶板(111)通过所述导向杆(112)固定于所述载料模块(2)上,第一螺纹杆(113)的顶端旋转连接顶板(111),底端旋转连接所述载料模块(2),所述第一螺纹杆(113)和所述导向杆(112)还穿过所述悬浮板(12),所述第一螺纹杆(113)旋转后带动所述悬浮板(12)沿着所述导向杆(112)移动。

3.根据权利要求2所述的一种抛光垫产品的检测切片工装,其特征在于,所述第一螺纹杆(113)穿过所述顶板(111)后连接有第一把手件(114)。

4.根据权利要求1所述的一种抛光垫产品的检测切片工装,其特征在于,所述切割机构(14)包括切割刀片(141)、活动板(142)、安装板(143)、引导杆(144)和第二螺纹杆(145),所述活动板(142)包括互相连接的水平板和竖直板,所述水平板连接所述伸缩杆,所述引导杆(144)的一端穿过所述竖直板,另一端固定连接所述安装板(143),所述第二螺纹杆(145)穿过所述竖直板后抵靠所述安装板(143),所述安装板(143)的顶部抵靠水平板,所述切割刀片(141)安装于所述安装板(143)上。

5.根据权利要求1所述的一种抛光垫产品的检测切片工装,其特征在于,所述载料模块(2)包括至少两个面压组件(22),所述面压组件(22)分布于所述载料模穴(21)的侧边,用于下压固定抛光垫样件。

6.根据权利要求5所述的一种抛光垫产品的检测切片工装,其特征在于,所述面压组件(22)包括支撑柱(221),第三螺纹杆(222),顶面板(223)和移动板(224),所述顶面板(223)通过支撑柱(221)固定于所述载料模块(2)上,第三螺纹杆(222)的顶端穿过所述顶面板(223),底端旋转连接所述载料模块(2),所述第三螺纹杆(222)和所述支撑柱(221)还穿过所述移动板(224),所述第三螺纹杆(222)旋转后带动所述移动板(224)沿着所述支撑柱(221)移动。

7.根据权利要求6所述的一种抛光垫产品的检测切片工装,其特征在于,所述第三螺纹杆(222)的顶端连接有第二把手件(225)。

8.根据权利要求7所述的一种抛光垫产品的检测切片工装,其特征在于,所述面压组件(22)还包括面压板(226)、伸缩弹簧(227)和连接杆(228),所述移动板(224)上设置有通孔,所述连接杆(228)的顶端穿过通孔后连接限位结构,所述连接杆(228)的底部连接所述面压板(226),所述伸缩弹簧(227)嵌套在面压板(226)和移动板(224)之间的连接杆(228)上。

9.根据权利要求8所述的一种抛光垫产品的检测切片工装,其特征在于,所述面压板(226)的底面设置有缓冲垫(229)。

10.根据权利要求8所述的一种抛光垫产品的检测切片工装,其特征在于,所述连接杆(228)为螺杆,所述限位结构为螺母。

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