[实用新型]一种匀胶显影机用光刻材料烘烤装置有效
| 申请号： | 202223114081.7 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN218675680U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 贺武峰;陈雪冰 | 申请（专利权）人： | 江西维易科半导体科技有限公司;江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人： | 徐页靖 |
| 地址： | 334000 江西省上饶*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种烘烤装置，尤其涉及一种匀胶显影机用光刻材料烘烤装置。本实用新型提供一种一次性可以对多个晶圆进行烘烤，烘烤效率高的匀胶显影机用光刻材料烘烤装置。一种匀胶显影机用光刻材料烘烤装置，包括有底架、外框、放置框和拉杆等，外框底部左右两侧均连接有底架，外框内滑动式设有两个用于放置晶圆的放置框，外框顶部右侧开有至少两个通风口，放置框前侧均连接有拉杆。本实用新型的热风机可以吹出热风，对晶圆进行烘烤，且一次性可以对多个晶圆进行烘烤，烘烤效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 用光 材料 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
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