[实用新型]一种片状晶体表面洁净度检测装置有效
| 申请号： | 202223071994.5 | 申请日： | 2022-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN219266136U | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 黄祥跃;陈燕平;孙义林 | 申请（专利权）人： | 福建致卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01N21/01 |
| 代理公司： | 福州创蔚来知识产权代理有限公司 35290 | 代理人： | 郑艳艳 |
| 地址： | 350100 福建省福州市闽侯县上街*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及片状晶体表面洁净度检测装置，它包括设有台面的检测厨、固设于检测厨台面上的晶体固定组件以及设于晶体固定组件上方且带摄像功能的无影灯组件；所述晶体固定组件包括2个间隔固设于检测厨台面上的固定座、转动连接于两固定座之间的吸附盘以及与吸附盘通过管路连接的真空泵；所述吸附盘内设有腔室，所述吸附盘的前侧壁上间隔设有若干组由吸附孔组成的吸附孔组，所述吸附孔与吸附盘的腔室连通且用于吸附片状晶体，所述管路与所述吸附盘的腔室连通。本实用新型的片状晶体表面洁净度检测装置可快捷方便地检测晶片表面的洁净度，不会对晶片的通光面造成损伤，而且一次性可对多片晶片进行洁净度检测，极大地提高检测效率，提升产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 片状 晶体 表面 洁净 检测 装置 | ||
【主权项】：
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