[实用新型]一种片状晶体表面洁净度检测装置

权利要求书

1.一种片状晶体表面洁净度检测装置，其特征在于：它包括设有台面(11)的检测厨(1)、固设于检测厨(1)台面(11)上的晶体固定组件(2)以及设于晶体固定组件(2)上方且带摄像功能的无影灯组件(3)；

所述晶体固定组件(2)包括2个间隔固设于检测厨(1)台面(11)上的固定座(21)、转动连接于两固定座(21)之间的吸附盘(22)以及与吸附盘(22)通过管路(24)连接的真空泵(23)；所述吸附盘(22)内设有腔室，所述吸附盘(22)的前侧壁上间隔设有若干组由吸附孔组成的吸附孔组，所述吸附孔与吸附盘(22)的腔室连通且用于吸附片状晶体，所述管路(24)与所述吸附盘(22)的腔室连通。

2.根据权利要求1所述的片状晶体表面洁净度检测装置，其特征在于：所述吸附盘(22)的左右侧壁分别设有转轴(221)，所述固定座(21)上对应设有容转轴(221)穿入的轴承(211)，其中一个固定座(21)上设有与转轴(221)连接驱动转轴(221)转动的电机(27)。

3.根据权利要求1所述的片状晶体表面洁净度检测装置，其特征在于：所述吸附盘(22)的前侧壁上设有弹性缓冲垫(222)，所述弹性缓冲垫(222)上设有若干个与吸附孔对应的通孔(2221)。

4.根据权利要求1所述的片状晶体表面洁净度检测装置，其特征在于：所述检测厨(1)的顶壁设有进风管(12)，所述进风管(12)中设有风机(121)，所述检测厨(1)的前侧壁设有操作窗口(13)。

5.根据权利要求4所述的片状晶体表面洁净度检测装置，其特征在于：所述进风管(12)中可拆卸连接有过滤网(122)，且所述过滤网(122)位于风机(121)的上方。

6.根据权利要求1所述的片状晶体表面洁净度检测装置，其特征在于：所述检测厨(1)台面(11)的下方设有收纳柜(14)，所述真空泵(23)置于收纳柜(14)中，检测厨(1)的台面(11)上设有容管路(24)穿过的安装孔。

7.根据权利要求1所述的片状晶体表面洁净度检测装置，其特征在于：所述无影灯组件(3)包括与检测厨(1)顶壁连接的固定灯座(31)、与固定灯座(31)连接且向下延伸的连接轴(32)以及转动套接于连接轴(32)上的支架A(33)；所述支架A(33)的端头转动连接有副支架A(34)，所述副支架A(34)的一端铰接有弧形连接管(35)，所述弧形连接管(35)上转动连接有灯盘(36)，所述灯盘(36)上均匀布设有若干个灯槽(361)，所述灯槽(361)中设有灯泡(362)，所述灯盘(36)上还设有若干个摄像头(363)。

8.根据权利要求7所述的片状晶体表面洁净度检测装置，其特征在于：所述无影灯组件(3)还包括转动套接于连接轴(32)上的支架B(37)；所述支架B(37)的端头转动连接有副支架B(38)，所述副支架B(38)上设有用于与摄像头(363)连接的显示器(39)。