[实用新型]一种片状晶体表面洁净度检测装置

说明书

本实用新型涉及片状晶体表面洁净度检测装置，它包括设有台面的检测厨、固设于检测厨台面上的晶体固定组件以及设于晶体固定组件上方且带摄像功能的无影灯组件；所述晶体固定组件包括2个间隔固设于检测厨台面上的固定座、转动连接于两固定座之间的吸附盘以及与吸附盘通过管路连接的真空泵；所述吸附盘内设有腔室，所述吸附盘的前侧壁上间隔设有若干组由吸附孔组成的吸附孔组，所述吸附孔与吸附盘的腔室连通且用于吸附片状晶体，所述管路与所述吸附盘的腔室连通。本实用新型的片状晶体表面洁净度检测装置可快捷方便地检测晶片表面的洁净度，不会对晶片的通光面造成损伤，而且一次性可对多片晶片进行洁净度检测，极大地提高检测效率，提升产能。

技术领域

本实用新型涉及晶体加工领域，具体涉及一种片状晶体表面洁净度检测装置。

背景技术

光学晶体加工成片状晶体(即晶片)的过程中需要经常观察晶片表面的光学质量情况。如晶片镀完膜之后，检测者需要在检测台上借助光源、放大镜对每片晶片进行洁净度检测。检测者需一手拿晶片，另一只手拿放大镜，对着光源，观察晶片，如晶片的表面有点子、灰尘或污渍，需放下放大镜，再拿起滴有乙醚或其它一些易挥发溶剂的无尘布擦拭，擦拭之后，需再持放大镜对准光源进行观察。这样的检测方法，一个检测者一次只能检测一片，检测效率低，而且长时间操作容易疲劳，甚至会影响视力，如需对大批量晶片进行检测，需要大量员工花费大量时间进行，经常成为产能提升的瓶颈。综上所述，有必要设计出一种片状晶体表面洁净度检测装置，以便于高效的进行晶片洁净度检测，提升产能。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种片状晶体表面洁净度检测装置，该装置能高效检测晶片表面清洁度，且不会对晶片通光面造成损伤，可极大地提高检测效率，提升产能。

本实用新型的目的通过如下技术方案实现：

一种片状晶体表面洁净度检测装置，它包括设有台面的检测厨、固设于检测厨台面上的晶体固定组件以及设于晶体固定组件上方且带摄像功能的无影灯组件；

所述晶体固定组件包括2个间隔固设于检测厨台面上的固定座、转动连接于两固定座之间的吸附盘以及与吸附盘通过管路连接的真空泵；所述吸附盘内设有腔室，所述吸附盘的前侧壁上间隔设有若干组由吸附孔组成的吸附孔组，所述吸附孔与吸附盘的腔室连通且用于吸附片状晶体，所述管路与所述吸附盘的腔室连通。

所述吸附盘的左右侧壁分别设有转轴，所述固定座上对应设有容转轴穿入的轴承，其中一个固定座上设有与转轴连接驱动转轴转动的电机。

所述吸附盘的前侧壁上设有弹性缓冲垫，所述弹性缓冲垫上设有若干个与吸附孔对应的通孔。

所述检测厨的顶壁设有进风管，所述进风管中设有风机，所述检测厨的前侧壁设有操作窗口。

所述进风管中可拆卸连接有过滤网，且所述过滤网位于风机的上方。

所述检测厨台面的下方设有收纳柜，所述真空泵置于收纳柜中，检测厨的台面上设有容管路穿过的安装孔。

所述无影灯组件包括与检测厨顶壁连接的固定灯座、与固定灯座连接且向下延伸的连接轴以及转动套接于连接轴上的支架A；所述支架A的端头转动连接有副支架A，所述副支架A的一端铰接有弧形连接管，所述弧形连接管上转动连接有灯盘，所述灯盘上均匀布设有若干个灯槽，所述灯槽中设有灯泡，所述灯盘上还设有若干个摄像头。

所述无影灯组件还包括转动套接于连接轴上的支架B；所述支架B的端头转动连接有副支架B，所述副支架B上设有用于与摄像头连接的显示器。

较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：