[实用新型]一种制备溅射靶材的真空冶炼装置

摘要

本实用新型涉及溅射靶材加工技术领域的一种制备溅射靶材的真空冶炼装置，包括支撑腿和固定连接在支撑腿一端的石墨坩筒，所述石墨坩筒的顶部抵触有驱动盖，所述驱动盖的内部转动连接有转动杆，所述转动杆的表面固定连接有固定筒和多个搅拌叶，所述固定筒的一端滑动连接有推杆，所述推杆的一端固定连接有刮板。通过驱动盖、转动杆、石墨坩筒、搅拌叶、推杆、固定筒、刮板、伸缩杆、凸块、电弧熔炼组件、滑动组件和驱动组件的配合使用，从而可便于带动搅拌叶和刮板进行自转的同时进行上下滑动，从而可便于对石墨坩筒内部靶材的合金粉末进行搅拌均匀，同时对石墨坩筒内壁残留的靶材合金粉末进行刮掉清理的作用。