[实用新型]一种真空镀膜机的冷却结构有效
| 申请号： | 202223005398.7 | 申请日： | 2022-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN218710797U | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 周斌迁 | 申请（专利权）人： | 江门豪达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙) 44777 | 代理人： | 杨国锋 |
| 地址： | 529000 广东省江门市新会*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体公开了一种真空镀膜机的冷却结构，包括冷水机和若干组设置在真空镀膜机外壳和内壳之间的散热板，每组散热板外侧均设有一组冷却管；散热板均匀设置在真空镀膜机外壳和内壳之间的安装腔之间，安装腔底部设有底环，安装腔顶部设有顶环，冷却管进液端和出液端的管路均延伸至底环底部，冷却管进液端通过送水管连接冷水供应机构；本实用新型中多个散热板能在真空镀膜机的外壳和内壳之间均匀铺设，真空镀膜机的机门和机身处均能单独设置若干个散热板，同时铺设对应的冷却管，冷水管路能单独连接外部冷水机，方便真空镀膜机的开启及工件的取放。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 冷却 结构 | ||
【主权项】：
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