[实用新型]一种检测设备有效
申请号: | 202223005378.X | 申请日: | 2022-11-11 |
公开(公告)号: | CN219391853U | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
发明(设计)人: | 辛自强;黄有为;陈鲁;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;G01N21/01 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 刘志海;彭家恩 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区观澜*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种检测设备,包括用于获取被测件上预定特征的预扫描组件和获取被测件的检测信息的检测组件,预扫描组件被配置成优先于检测组件扫描被测件,以在检测组件扫描到预定特征的位置时,检测设备自第一状态切换至第二状态;在第一状态下,被测件接收到具有第一预设参数的检测光;在第二状态下,被测件接收到具有不同于第一预设参数的第二预设参数的检测光。通过配置的预扫描组件,可优先于检测组件对被测件进行扫描,以探测和收集被测件上预定特征的相关信息;当检测组件扫描到预定特征的位置时,通过调节被测件接收到的检测光,能够使得检测光低功率扫过或精确略过预定特征,从而有效避免因预定特征炸裂而污染被测件,为提高检测精度提供保障。 | ||
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【主权项】:
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