[实用新型]一种检测设备

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于，所述检测设备被配置成可控地在第一状态与第二状态之间切换，所述检测设备包括：

预扫描组件，用于向被测件出射探测光，以获取被测件的预定特征的信息；以及

检测组件，用于向被测件出射检测光，以获取被测件的检测信息；所述检测组件与预扫描组件配合设置，且所述预扫描组件被配置成优先于检测组件扫描被测件，以在所述检测组件扫描到预定特征的位置时，所述检测设备自第一状态切换至第二状态；

在所述第一状态下，所述检测设备使被测件接收到具有第一预设参数的检测光；在所述第二状态下，所述检测设备使被测件接收到具有第二预设参数的检测光；其中，所述第一预设参数不同于第二预设参数。

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述预扫描组件包括预扫描光源装置和第一探测通道，所述预扫描光源装置用于向被测件出射可见光波长的探测光；所述第一探测通道与预扫描光源装置配合设置，用于探测所述探测光在被测件上形成的第一光斑，以获取预定特征的信息；

所述检测组件包括检测光源装置和第二探测通道，所述检测光源装置用于向被测件出射紫外光波长的检测光；所述第二探测通道与检测光源装置配合设置，用于探测所述检测光在被测件上形成的第二光斑，以获取被测件的检测信息。

3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述预扫描光源装置被配置成产生线光束形式的探测光，以使得形成于被测件上的所述第一光斑呈线光斑；所述检测光源装置被配置成产生线光束形式的检测光，以使得形成于被测件上的所述第二光斑呈线光斑；其中，当所述预扫描组件与检测组件同时扫描被测件时，所述第一光斑和第二光斑于被测件上平行分布。

4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述预扫描光源装置包括光源件、光路转向件和光束整形件；其中，所述光源件被配置成产生点光束形式的探测光；所述光路转向件设置于光源件的光出射侧，用于将接收到的探测光沿预设路径输出至所述光束整形件；所述光束整形件与第一探测通道配合设置，用于将接收的探测光整形为线光束输出至被测件。

5.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，还包括控制装置，所述预扫描组件和检测组件分别与控制装置信号连接，当所述检测组件扫描到预定特征的位置时，所述控制装置能够关闭检测光源装置，或控制检测光源装置调节检测光的参数，从而使得所述检测设备自第一状态切换至第二状态。

6.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，还包括控制装置和调光装置，所述调光装置、预扫描组件和检测组件分别与控制装置信号连接，所述调光装置设置于检测光的光路中；当所述检测组件扫描到预定特征的位置时，所述控制装置能够控制调光装置遮挡至少部分检测光，从而使得所述检测设备自第一状态切换至第二状态。

7.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，还包括承载装置，所述承载装置用于承载被测件；所述承载装置还用于带动被测件相对预扫描组件和检测组件运动，以使得所述预扫描组件能够优先于检测组件扫描被测件。

8.如权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置被配置成可控地相对预扫描组件和检测组件作旋转运动，和/或所述承载装置被配置成可控地相对预扫描组件和检测组件作直线平移运动；

所述预扫描组件和检测组件分别固定设置在预设位置，以使得在被测件上形成的所述第一光斑和第二光斑沿承载装置的转动方向并行分布，或使得在被测件上形成的所述第一光斑位于第二光斑靠近或远离承载装置的转动中心的一侧。

9.如权利要求8所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置还被配置成可控地相对预扫描组件和检测组件作直线升降运动，以在所述检测组件扫描到预定特征的位置时，所述承载装置能够带动被测件远离检测组件，从而使得所述检测设备自第一状态切换至第二状态。

10.如权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述检测组件的数量设置为两个，两个所述检测组件被配置成可切换地向被测件出射检测光。