[实用新型]一种适用于过程质谱仪的多路进样系统

摘要

本实用新型公开了一种适用于过程质谱仪的多路进样系统，包括进样法兰，进样法兰的进口端通过进样接头连接进样设备；进样法兰的出口端连接质谱腔体，质谱腔体内依次设有离子源、质量分析器和检测器；进样设备包括膜进样装置和或微孔分流进样装置和或多路进样阀和或毛细管。本实用新型通过将四组进样设备集成在质谱进样法兰上，提升仪器的响应速度。利用截止阀对进样设备进行选择，以实现对高压环境、液体环境及复杂反应过程物质的进样与分析，完成过程质谱仪在不同条件下的进样工作，实现在复杂工业环境下的进样与分析。通过通过截止阀，在不破坏质谱真空的情况下，灵活地对各个进样设备组件进行维护，极大地提升了仪器的适用范围与灵活性。