[实用新型]一种适用于过程质谱仪的多路进样系统有效
| 申请号： | 202222995729.X | 申请日： | 2022-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN219203092U | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 黄泽建;高佳奇 | 申请（专利权）人： | 上海砺沐科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;G01N27/62 |
| 代理公司： | 上海云沪专利代理事务所(普通合伙) 31418 | 代理人： | 贾寿华 |
| 地址： | 201815 上海市嘉定区新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 过程 质谱仪 多路进样 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于过程质谱仪的多路进样系统，其特征在于，包括进样法兰(101)，所述进样法兰(101)的进口端通过进样接头(102)连接进样设备；所述进样法兰(101)的出口端连接质谱腔体(103)，所述质谱腔体(103)内依次设有离子源(104)、质量分析器(105)和检测器(106)；所述进样设备包括膜进样装置(201)、微孔分流进样装置(202)、多路进样阀(203)和毛细管(204)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于过程质谱仪的多路进样系统，其特征在于，所述进样设备与进样接头(102)之间设有截止阀(205)。
3.根据权利要求1所述的一种适用于过程质谱仪的多路进样系统，其特征在于，所述膜进样装置(201)包括渗透汽化膜与烧结支撑材料。
4.根据权利要求3所述的一种适用于过程质谱仪的多路进样系统，其特征在于，所述微孔分流进样装置(202)包括进样三通和进样微孔。
5.根据权利要求3所述的一种适用于过程质谱仪的多路进样系统，其特征在于，所述毛细管(204)采用石英或者不锈钢材质。
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