[实用新型]扩散炉有效
| 申请号： | 202222964234.0 | 申请日： | 2022-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN219032466U | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 熊兼海;陈刚 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 北京市天元律师事务所 16010 | 代理人： | 夏智海 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于太阳能电池制造技术领域，提供了一种扩散炉，扩散炉的第一进气管设置在炉体上且用于连接外部气源，第二进气管设置在炉门上且用于向炉腔内供气。在炉门封闭炉口时，第二进气管的进气端与第一进气管的出气端对接。在炉门打开炉口时，第二进气管的进气端与第一进气管的出气端分离。如此，将第二进气管设置在炉门上可以直接在炉门侧通过炉口向炉腔内供气，可以有效的避免气管设置在尾端沿炉腔的侧壁延伸太长而容易造成碰撞事故，并且气管可以根据需要做成不同的形状，位置布置更加灵活，同时也可以避免某些气体(如硅烷)进入过程中被加热产生沉积物堵塞气管，同时也便于维修和更换。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 | ||
【主权项】：
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