[实用新型]扩散炉

说明书

本实用新型适用于太阳能电池制造技术领域，提供了一种扩散炉，扩散炉的第一进气管设置在炉体上且用于连接外部气源，第二进气管设置在炉门上且用于向炉腔内供气。在炉门封闭炉口时，第二进气管的进气端与第一进气管的出气端对接。在炉门打开炉口时，第二进气管的进气端与第一进气管的出气端分离。如此，将第二进气管设置在炉门上可以直接在炉门侧通过炉口向炉腔内供气，可以有效的避免气管设置在尾端沿炉腔的侧壁延伸太长而容易造成碰撞事故，并且气管可以根据需要做成不同的形状，位置布置更加灵活，同时也可以避免某些气体(如硅烷)进入过程中被加热产生沉积物堵塞气管，同时也便于维修和更换。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种扩散炉。

背景技术

在制造太阳能电池时，通常将硅片放置在扩散炉内，然后向扩散炉内通入气体并加热以对硅片进行扩散处理。在相关技术的扩散炉中，进气管通常设置在扩散炉的炉尾，在这样的情况下，当气管口需在放在炉口附近时，从炉尾进入的气管需要一直延伸到炉口，气管太长容易弯曲造成碰撞事故，而为了避免气管与产品碰撞，气管只能布置在扩散炉内的管壁附近，布置位置不灵活。并且，对于某些气体(如硅烷)，若从炉尾进入经过一段长气管到达炉口，气体会被加热产生沉积物堵塞气管，并且，将气管设置在尾端伸入至炉管内不便于维修和更换。

实用新型内容

本实用新型提供一种扩散炉，旨在解决现有技术中扩散炉的进气管布置位置不灵活、从炉尾进入经过一段长气管到达炉口时气体会被加热产生沉积物堵塞气管以及气管不便于维修和更换的技术问题。

本实用新型是这样实现的，本实用新型实施例的扩散炉包括：

炉体，所述炉体形成有炉腔，所述炉腔的一端开放形成有炉口；

炉门，所述炉门设置在所述炉口所在的一侧，所述炉门与所述炉体活动连接以使所述炉门打开或者封闭所述炉口；

第一进气管，所述第一进气管设置在所述炉体上且用于连接外部气源；和

第二进气管，所述第二进气管设置在所述炉门上且用于向所述炉腔内供气；

其中，在所述炉门封闭所述炉口时，所述第二进气管的进气端与所述第一进气管的出气端对接，在所述炉门打开所述炉口时，所述第二进气管的进气端与所述第一进气管的出气端分离。

更进一步地，所述第一进气管的出气端形成有出气接口，所述第二进气管的进气端形成有进气接口，在所述炉门封闭所述炉口时，所述进气接口和所述出气接口对接。

更进一步地，所述第一进气管的出气端和所述第二进气管的进气端中的至少一个上设有密封垫。

更进一步地，所述第一进气管的出气端固定连接在所述炉体的外侧，所述第二进气管的出气端固定连接在所述炉门上并穿设所述炉门，所述第二进气管的进气端位于所述炉门的外侧与所述第一进气管的出气端对应的位置。

更进一步地，所述第一进气管的出气端嵌入在所述炉体上且位于所述炉腔内，所述第二进气管的进气端设于所述炉门上。

更进一步地，所述第一进气管的出气端与所述炉体形成有所述炉口的端面平齐，所述第二进气管的进气端与所述炉门朝向所述炉口的端面平齐。

更进一步地，所述第二进气管的出气端上的出气口位于所述炉门的中心位置。

更进一步地，所述第一进气管的数量为多根，所述第二进气管的数量也为多根，所述第一进气管与所述第二进气管一一对应；或者

所述第二进气管具有多个进气端，所述第一进气管的数量为多根，每个所述第二进气管的进气端对应一根所述第一进气管；或者

所述第一进气管具有多个出气端，所述第二进气管具有多个进气端，所述第二进气管的进气端与所述第一进气管的出气端一一对应。