[实用新型]扩散炉

权利要求书

1.一种扩散炉，其特征在于，包括：

炉体，所述炉体形成有炉腔，所述炉腔的一端开放形成有炉口；

炉门，所述炉门设置在所述炉口所在的一侧，所述炉门与所述炉体活动连接以使所述炉门打开或者封闭所述炉口；

第一进气管，所述第一进气管设置在所述炉体上且用于连接外部气源；和

第二进气管，所述第二进气管设置在所述炉门上且用于向所述炉腔内供气；

其中，在所述炉门封闭所述炉口时，所述第二进气管的进气端与所述第一进气管的出气端对接，在所述炉门打开所述炉口时，所述第二进气管的进气端与所述第一进气管的出气端分离。

2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一进气管的出气端形成有出气接口，所述第二进气管的进气端形成有进气接口，在所述炉门封闭所述炉口时，所述进气接口和所述出气接口对接。

3.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一进气管的出气端和所述第二进气管的进气端中的至少一个上设有密封垫。

4.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一进气管的出气端固定连接在所述炉体的外侧，所述第二进气管的出气端固定连接在所述炉门上并穿设所述炉门，所述第二进气管的进气端位于所述炉门的外侧与所述第一进气管的出气端对应的位置。

5.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一进气管的出气端嵌入在所述炉体上且位于所述炉腔内，所述第二进气管的进气端设于所述炉门上。

6.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一进气管的出气端与所述炉体形成有所述炉口的端面平齐，所述第二进气管的进气端与所述炉门朝向所述炉口的端面平齐。

7.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第二进气管的出气端上的出气口位于所述炉门的中心位置。

8.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一进气管的数量为多根，所述第二进气管的数量也为多根，所述第一进气管与所述第二进气管一一对应；或者

所述第二进气管具有多个进气端，所述第一进气管的数量为多根，每个所述第二进气管的进气端对应一根所述第一进气管；或者

所述第一进气管具有多个出气端，所述第二进气管具有多个进气端，所述第二进气管的进气端与所述第一进气管的出气端一一对应。

9.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉还包括支架，所述支架用于承载待扩散元件，所述炉门上设有承载部，所述承载部与所述炉腔的内壁活动连接，所述承载部用于承载所述支架。

10.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉还包括排气管，所述排气管设于所述炉体和/或所述炉门上。