[实用新型]一种腔体门自锁装置及真空镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202222912250.5 申请日: 2022-11-02
公开(公告)号: CN218581374U 公开(公告)日: 2023-03-07
发明(设计)人: 朱鹤囡;林佳继;张武 申请(专利权)人: 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
主分类号: E05B63/14 分类号: E05B63/14;E05B15/00;E05B15/10;C23C16/44
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 潘登
地址: 214192 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型属于太阳能电池制造技术领域,具体公开了一种腔体门自锁装置,包括安装座、驱动件和压紧组件,驱动件固定在安装座上,压紧组件包括传动组件和两个压紧臂,驱动件的输出端与传动组件的一端连接,传动组件与两个压紧臂连接,驱动件的输出端运动时带动传动组件将两个压紧臂在平面内同时转动,从而使两个压紧臂同时远离或同时靠近侧门,进而将侧门上锁或解锁,实现了自动化的上锁和解锁,操作十分方便,无需操作人员登高就可以实现,降低了工作难度和危险性,且不容易出现漏锁的情况,上锁或解锁的效率较高。本实用新型还提供一种真空镀膜设备,包括上述的腔体门自锁装置。
搜索关键词: 一种 腔体门 装置 真空镀膜 设备
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