[实用新型]一种碳化硅晶圆生产输送机构有效
申请号: | 202222891541.0 | 申请日: | 2022-10-31 |
公开(公告)号: | CN218453688U | 公开(公告)日: | 2023-02-07 |
发明(设计)人: | 李炜;郭小勇 | 申请(专利权)人: | 江苏芯诺半导体科技有限公司 |
主分类号: | B65G21/00 | 分类号: | B65G21/00;B65G23/22 |
代理公司: | 安徽智联芯知识产权代理事务所(普通合伙) 34237 | 代理人: | 金璐 |
地址: | 224700 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及输送机构领域,具体为一种碳化硅晶圆生产输送机构,包括底座、支撑支架、支撑件、传送带支架、传送带、前进轮、支撑板、转动支架、传动件、转动电机、电机支架和升降把手;底座顶部与支撑支架连接;支撑支架顶部与支撑板连接;升降把手上设有螺纹杆,电机支架上设有螺纹件,螺纹杆与螺纹件螺纹连接;本实用新型通过本装置能够有效的提高硅晶圆原料的送料稳定性,通过电机支架和升降把手的组合能够根据不同形状和厚度的硅晶圆原料进行调节,从而实现了本装置的针对性兼容性,通过本装置的支撑板能够对原料进行稳定的盛放,从而保证了本装置的送料速度的调节便携性,降低了本装置的操作难度。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 生产 输送 机构 | ||
【主权项】:
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