[实用新型]一种窄带光电探测器

摘要

本实用新型公开了一种窄带光电探测器，包括F‑P型单腔窄带滤光膜层，F‑P型单腔窄带滤光膜层设置于光电探测器上，F‑P型单腔窄带滤光膜层的膜系结构为B|(LH)S(a2L)(HL)S|A或B|(HL)S(a2H)(LH)S|A，其中，A表示入射介质，B表示光电探测器，L、H分别代表低折射率材料和高折射率材料，单位厚度均为入射光中心波长的四分之一，S代表堆叠周期数，a代表干涉级次。本实用新型中，在光电探测器的结区表面沉积特定的F‑P型单腔窄带滤光膜层，实现窄带滤波的效果，以取代玻璃窄带滤光片，有利于集成化和系统体积的缩小，而且窄带波长可调，适用于目前大多数的平面型叠层无机半导体光电探测器。