[实用新型]一种真空卡盘

摘要

本实用新型公开了一种真空卡盘，包括卡盘本体，所述卡盘本体具有一个用于放置被检测裸片的放置面，放置面上开设有多个用于吸附被检测裸片的、且直径不同的吸附孔；该卡盘本体内还设置有多条独立的真空通道，每条所述真空通道的一端端口对应匹配与一个所述吸附孔连通，另一端端口延伸出所述卡盘本体位于所述放置面以外的部分。通过设置多个用于吸附被检测裸片的、且直径不同的吸附孔，与设置有多条独立的真空通道配合，对应连接多台外部现有的真空设备，实现对裸片本身的吸附，开启或者关闭任意一台或多台外部现有的真空设备，以控制不同规格尺寸的裸片分别独立的吸附操作，降低操作人员的作业强度,提高了测试效率。