[实用新型]一种用于清洗芯片的载具有效
| 申请号： | 202222791088.6 | 申请日： | 2022-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN218309634U | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 鲍士伟;谷飞 | 申请（专利权）人： | 苏州苏纳光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于清洗芯片的载具，包括花篮本体，所述花篮本体具有能够容置芯片的收容腔室，所述收容腔室的内壁上设置有第一出水孔，以及，所述收容腔室的内壁上还设置有至少一沟槽，所述沟槽的长度大于所述芯片的长度或直径，宽度小于所述芯片的宽度或直径；当所述芯片被置于所述收容腔室内时，所述沟槽的局部暴露在所述芯片的至少一侧，并形成可供夹取芯片的夹取机构伸入的避让结构。使用本实用新型实施例所提供的一种用于清洗芯片的载具，方便夹取机构与芯片直接接触并夹持，以便于从清洗的花篮中取出芯片，极大地降低了芯片表面图形被划伤的可能性，方便快速操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 芯片 | ||
【主权项】：
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