[实用新型]一种避免螺丝失效的钨舟固定压块有效
| 申请号： | 202222743184.3 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN218880027U | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 陈之峰;李刚 | 申请（专利权）人： | 福建兆元光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L21/673 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 董晗 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制备技术领域，具体涉及一种避免螺丝失效的钨舟固定压块，所述钨舟包括舟槽和舟槽上边沿两侧延伸出的对称的槽边翼；所述限位片在压块本体下方，所述槽边翼插入抵接在两个限位片之间；所述挡板设置在舟槽和螺丝之间，并固定在压块本体上。本实用新型提供的避免螺丝失效的钨舟固定压块的有益效果在于：所述挡板设置在舟槽和螺丝之间，阻挡镀料从舟槽中蒸镀到螺丝上的路径；工作人员仅需在一个方向上移动压块本体就能对齐压块本体和槽边翼的螺孔；使所述避免螺丝失效的钨舟固定压块的安装较为方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 避免 螺丝 失效 固定 | ||
【主权项】：
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