[实用新型]一种用于装载镀膜样品的夹具有效
| 申请号： | 202222732201.3 | 申请日： | 2022-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN218203038U | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 谢娟 | 申请（专利权）人： | 苏州苏纳光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于装载镀膜样品的夹具，包括载盘，沿所述载盘的一表面下凹形成有一定位槽，所述定位槽中形成有一容置空间，所述定位槽至少能够在第一方向上约束所述样品，还包括：至少能够沿第二方向约束样品的约束架，所述约束架能够活动在第一工位和第二工位之间，当所述约束架处于第一工位时，所述约束架能够将样品约束在载盘上，当所述约束架处于第二工位时，所述样品能够从载盘中取出；所述第一方向为定位槽的长度方向，所述第二方向为定位槽的深度方向。本实用新型实施例提供的一种用于装载镀膜样品的夹具，能够对样品进行稳定的约束固定，避免侧壁绕镀的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 装载 镀膜 样品 夹具 | ||
【主权项】：
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