[实用新型]一种用于装载镀膜样品的夹具有效

专利信息
申请号: 202222732201.3 申请日: 2022-10-17
公开(公告)号: CN218203038U 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 谢娟 申请(专利权)人: 苏州苏纳光电有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 赵世发
地址: 215000 江苏省苏州市工业园区金*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 装载 镀膜 样品 夹具
【权利要求书】:

1.一种用于装载镀膜样品的夹具,包括载盘(1),沿所述载盘(1)的一表面下凹形成有一定位槽(11),所述定位槽(11)中形成有一容置空间,所述定位槽(11)至少能够在第一方向上约束样品,其特征在于,还包括:

至少能够沿第二方向约束样品的约束架(2),所述约束架(2)与所述载盘(1)活动连接,所述约束架(2)能够活动在第一工位和第二工位之间,当所述约束架(2)处于第一工位时,所述约束架(2)能够将样品约束在载盘(1)上,当所述约束架(2)处于第二工位时,所述样品能够从载盘(1)中取出;

所述第一方向为定位槽(11)的长度方向,所述第二方向为定位槽(11)的深度方向。

2.根据权利要求1所述的一种用于装载镀膜样品的夹具,其特征在于,所述约束架(2)的一表面下凹形成有第一凹槽(21),当所述约束架(2)处于第一工位时,所述第一凹槽(21)的至少部分与所述样品接触,并沿第二方向将所述样品约束在定位槽(11)中。

3.根据权利要求2所述的一种用于装载镀膜样品的夹具,其特征在于,所述约束架(2)经一转动连接件与所述载盘(1)转动连接;和/或,

所述约束架(2)经一滑动结构与所述载盘(1)滑动连接。

4.根据权利要求2所述的一种用于装载镀膜样品的夹具,其特征在于,所述约束架(2)具有一与所述载盘(1)贴合配置的第一面(201)以及朝向放置所述样品一侧的第二面(202),所述第一面(201)与所述第二面(202)呈角度设置。

5.根据权利要求4所述的一种用于装载镀膜样品的夹具,其特征在于,还包括取片结构,所述取片结构包括一下凹于所述定位槽(11)的底面形成的取片槽(12),所述取片槽(12)的至少部分与所述定位槽(11)连通。

6.根据权利要求5所述的一种用于装载镀膜样品的夹具,其特征在于,所述取片结构还包括一与所述取片槽(12)连通的衔取槽(13),所述衔取槽(13)与所述定位槽(11)下凹于同一表面形成,所述衔取槽(13)沿背离所述定位槽(11)方向设置。

7.根据权利要求6所述的一种用于装载镀膜样品的夹具,其特征在于,所述衔取槽(13)的底部具有一朝向上取片槽(12)延展的衔取面(131),所述衔取面(131)与所述定位槽(11)的底面呈角度设置。

8.根据权利要求7所述的一种用于装载镀膜样品的夹具,其特征在于,所述衔取面(131)与所述定位槽(11)的底面所呈角度大于90度小于180度。

9.根据权利要求8所述的一种用于装载镀膜样品的夹具,其特征在于,所述衔取面(131)与所述取片槽(12)的底面之间经一曲面(132)衔接。

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