[实用新型]一种用于装载镀膜样品的夹具

说明书

本实用新型公开了一种用于装载镀膜样品的夹具，包括载盘，沿所述载盘的一表面下凹形成有一定位槽，所述定位槽中形成有一容置空间，所述定位槽至少能够在第一方向上约束所述样品，还包括：至少能够沿第二方向约束样品的约束架，所述约束架能够活动在第一工位和第二工位之间，当所述约束架处于第一工位时，所述约束架能够将样品约束在载盘上，当所述约束架处于第二工位时，所述样品能够从载盘中取出；所述第一方向为定位槽的长度方向，所述第二方向为定位槽的深度方向。本实用新型实施例提供的一种用于装载镀膜样品的夹具，能够对样品进行稳定的约束固定，避免侧壁绕镀的情况发生。

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，特别涉及一种用于装载镀膜样品的夹具，属于半导体制造技术领域。

背景技术

光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。

在进行镀膜时，样品一般被放置在指定载盘上，但样品为较小规格的小端面样品时，传统的载盘对样品的约束不佳，样品在镀膜过程中仍可能发生移位，从而影响样品的镀膜效果，且使用载盘重复放置样品易造成样品污染。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种用于装载镀膜样品的夹具，用以解决上述技术问题。

为实现前述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案包括：

本实用新型实施例提供了一种用于装载镀膜样品的夹具，包括载盘，沿所述载盘的一表面下凹形成有一定位槽，所述定位槽中形成有一容置空间，所述定位槽至少能够在第一方向上约束所述样品，还包括：

至少能够沿第二方向约束样品的约束架，所述约束架能够活动在第一工位和第二工位之间，当所述约束架处于第一工位时，所述约束架能够将样品约束在载盘上，当所述约束架处于第二工位时，所述样品能够从载盘中取出；

所述第一方向为定位槽的长度方向，所述第二方向为定位槽的深度方向。

与现有技术相比，本实用新型的优点包括：

(1)本镀膜夹具有利于装载小端面镀膜样品，且起到侧壁保护，防止绕镀现象。

(2)在进行镀膜装片时，根据样品大小可以更换不同规格的载盘，提高本夹具的适配性；

(3)该夹具有利于小端面样品的取放操作，能够在取片结束后，方便样品衔取而出，更加便捷。

(4)该夹具可拆卸，以便及时进行清洁保护，防止前序镀膜操作的膜对后续二次装片镀膜造成污染。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一典型实施案例中提供的一种用于装载镀膜样品的夹具的结构示意图；

图2是图1中A处的局部放大示意图；

图3是本实用新型一典型实施案例中提供的一种用于装载镀膜样品的夹具的俯视图；

图4是图3中B-B向视图；

图5是图4中C处的局部放大示意图；

附图标记说明：

1、载盘；11、定位槽；12、取片槽；13、衔取槽；131、衔取面；132、曲面；

2、约束架；201、第一面；202、第二面；21、第一凹槽。

具体实施方式