[实用新型]一种无氧烤箱有效
| 申请号： | 202222697347.9 | 申请日： | 2022-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN218675827U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 徐尚;杨秉丰;王仕宇;翁肇鸿;蔡俊弘;叶冠麟;王令骅;张福庭 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20;A47J37/06 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本申请的实施例提供了一种无氧烤箱，包括：气体管路，位于无氧烤箱内部，用以传输供给无氧烤箱的气体；电动调节阀，连接在气体管路和提供气体的气体源之间，以控制进入气体管路的气体的流量；电动调节阀具有第一开度、第二开度和位于第一开度和第二开度之间的第三开度。本申请的目的在于提供一种无氧烤箱，以使供给无氧烤箱的气体至少具有三种流量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烤箱 | ||
【主权项】：
暂无信息
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