[实用新型]一种无氧烤箱有效

专利信息
申请号: 202222697347.9 申请日: 2022-10-13
公开(公告)号: CN218675827U 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 徐尚;杨秉丰;王仕宇;翁肇鸿;蔡俊弘;叶冠麟;王令骅;张福庭 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: G05D23/20 分类号: G05D23/20;A47J37/06
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 一种 烤箱
【说明书】:

本申请的实施例提供了一种无氧烤箱,包括:气体管路,位于无氧烤箱内部,用以传输供给无氧烤箱的气体;电动调节阀,连接在气体管路和提供气体的气体源之间,以控制进入气体管路的气体的流量;电动调节阀具有第一开度、第二开度和位于第一开度和第二开度之间的第三开度。本申请的目的在于提供一种无氧烤箱,以使供给无氧烤箱的气体至少具有三种流量。

技术领域

本申请的实施例涉及一种无氧烤箱。

背景技术

目前的无氧烤箱(例如公开号为CN203117744U的无氧烤箱)使用氮气赶气,并且通常使用电磁阀控制供给无氧烤箱的氮气的流量,然而电磁阀只有全开和全关两种开度,从而供给无氧烤箱的氮气只具有两种流量(0和最大流量)。

实用新型内容

针对相关技术中存在的问题,本申请的目的在于提供一种无氧烤箱,以使供给无氧烤箱的气体至少具有三种流量。

为实现上述目的,本申请的实施例提供了一种无氧烤箱,包括:气体管路,位于无氧烤箱内部,用以传输供给无氧烤箱的气体;电动调节阀,连接在气体管路和提供气体的气体源之间,以控制进入气体管路的气体的流量,气体源提供的气体是氮气;电动调节阀具有第一开度、第二开度和位于第一开度和第二开度之间的第三开度。

在一些实施例中,无氧烤箱还包括:可编程逻辑控制器(PLC),电动调节阀电性连接至可编程逻辑控制器,其中,可编程逻辑控制器向电动调节阀发送使电动调节阀位于第一开度、第二开度或第三开度的调控信号。

在一些实施例中,电动调节阀位于第一开度时,电动调节阀是全开状态,电动调节阀位于第二开度时,电动调节阀是全关状态,电动调节阀位于第三开度时,电动调节阀处于全开状态和全关状态之间。

在一些实施例中,电动调节阀位于第一开度、第二开度或第三开度时,无氧烤箱内的氧气含量不同。

在一些实施例中,与电动调节阀位于第三开度时相比,电动调节阀位于第一开度时无氧烤箱内的氧气含量较高。

在一些实施例中,流经电动调节阀的气体的流量与无氧烤箱内的氧气含量成正比。

在一些实施例中,开度还包括位于第一开度和第三开度之间的第四开度,与电动调节阀位于第四开度时相比,电动调节阀位于第三开度时流经电动调节阀的气体的流量较小。

在一些实施例中,与电动调节阀位于第四开度时相比,电动调节阀位于第三开度时无氧烤箱内的氧气含量较低。

在一些实施例中,电动调节阀位于第一开度时,气体的流量为250L/min。

在一些实施例中,电动调节阀位于第三开度时,气体的流量为180L/min。

在一些实施例中,无氧烤箱还包括:流量计,位于电动调节阀和气体管路之间;其中,流量计测量流经电动调节阀的气体的流量。

在一些实施例中,流量计电性连接至可编程逻辑控制器,可编程逻辑控制器控制流量计以统计气体的消耗量。

在一些实施例中,无氧烤箱还包括:含氧分析仪,含氧分析仪向电动调节阀输送无氧烤箱内的氧气含量的信号,电动调节阀根据信号在第一开度、第二开度、第三开度之间切换。

在一些实施例中,含氧分析仪电性连接至可编程逻辑控制器,并向可编程逻辑控制器发送检测到的氧气含量的第一信号。

在一些实施例中,可编程逻辑控制器处理第一信号并向电动调节阀发送使电动调节阀位于第一开度、第二开度或第三开度的调控信号。

在一些实施例中,无氧烤箱还包括:自动温度控制器,电性连接至电动调节阀,并测量以及控制无氧烤箱内的温度。

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