[实用新型]一种无氧烤箱有效

专利信息
申请号: 202222697347.9 申请日: 2022-10-13
公开(公告)号: CN218675827U 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 徐尚;杨秉丰;王仕宇;翁肇鸿;蔡俊弘;叶冠麟;王令骅;张福庭 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: G05D23/20 分类号: G05D23/20;A47J37/06
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 一种 烤箱
【权利要求书】:

1.一种无氧烤箱,其特征在于,包括:

气体管路,位于所述无氧烤箱内部,用以传输供给所述无氧烤箱的气体;

电动调节阀,连接在所述气体管路和提供所述气体的气体源之间,以控制进入所述气体管路的所述气体的流量,所述气体源提供的所述气体是氮气;

所述电动调节阀具有第一开度、第二开度和位于所述第一开度和所述第二开度之间的第三开度。

2.根据权利要求1所述的无氧烤箱,其特征在于,还包括:

可编程逻辑控制器(PLC),所述电动调节阀电性连接至所述可编程逻辑控制器,其中,所述可编程逻辑控制器向所述电动调节阀发送使所述电动调节阀位于所述第一开度、所述第二开度或所述第三开度的调控信号。

3.根据权利要求1所述的无氧烤箱,其特征在于,所述电动调节阀位于所述第一开度时,所述电动调节阀是全开状态,所述电动调节阀位于所述第二开度时,所述电动调节阀是全关状态,所述电动调节阀位于所述第三开度时,所述电动调节阀处于所述全开状态和所述全关状态之间。

4.根据权利要求1-3任一项所述的无氧烤箱,其特征在于,所述电动调节阀位于所述第一开度、所述第二开度或所述第三开度时,所述无氧烤箱内的氧气含量不同。

5.根据权利要求3所述的无氧烤箱,其特征在于,所述开度还包括位于所述第一开度和所述第三开度之间的第四开度,与所述电动调节阀位于所述第四开度时相比,所述电动调节阀位于所述第三开度时流经所述电动调节阀的所述气体的流量较小。

6.根据权利要求5所述的无氧烤箱,其特征在于,与所述电动调节阀位于所述第四开度时相比,所述电动调节阀位于所述第三开度时所述无氧烤箱内的氧气含量较低。

7.根据权利要求2所述的无氧烤箱,其特征在于,还包括:

流量计,位于所述电动调节阀和所述气体管路之间;其中,所述流量计测量流经所述电动调节阀的所述气体的流量,所述流量计电性连接至所述可编程逻辑控制器,所述可编程逻辑控制器控制所述流量计以统计所述气体的消耗量。

8.根据权利要求1所述的无氧烤箱,其特征在于,还包括:含氧分析仪,所述含氧分析仪向所述电动调节阀输送所述无氧烤箱内的氧气含量的信号,所述电动调节阀根据所述信号在所述第一开度、所述第二开度、所述第三开度之间切换。

9.根据权利要求8所述的无氧烤箱,其特征在于,所述含氧分析仪电性连接至可编程逻辑控制器,并向所述可编程逻辑控制器发送检测到的所述氧气含量的第一信号,所述可编程逻辑控制器处理所述第一信号并向所述电动调节阀发送使所述电动调节阀位于所述第一开度、所述第二开度或所述第三开度的调控信号。

10.根据权利要求9所述的无氧烤箱,其特征在于,还包括:自动温度控制器,电性连接至所述电动调节阀,并测量以及控制所述无氧烤箱内的温度,所述自动温度控制器电性连接至所述含氧分析仪和所述可编程逻辑控制器,所述自动温度控制器接收来自所述含氧分析仪的所述第一信号,并向所述可编程逻辑控制器发送改变所述无氧烤箱温度的第二信号,所述可编程逻辑控制器处理所述第一信号和所述第二信号并向所述电动调节阀发送使所述电动调节阀位于所述第一开度、所述第二开度或所述第三开度的调控信号。

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