[实用新型]一种离子束镀膜装置有效
| 申请号： | 202222673283.9 | 申请日： | 2022-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN218756008U | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 付德春;左飞龙;余益飞 | 申请（专利权）人： | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 武汉泰山北斗专利代理事务所(特殊普通合伙) 42250 | 代理人： | 朱志勇 |
| 地址： | 443500 湖北省宜昌市长*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及离子束镀膜设备技术领域，且公开了一种离子束镀膜装置，包括镀膜室、镀膜室的底部固接有电机和与镀膜室内壁固接的离子源，所述镀膜室内部的底部转动连接有转台，所述转台的底部与电机的输出轴固接，所述转台顶部的外侧转动连接有四个动齿轮。该种离子束镀膜装置，将安装组件卡接在动齿轮上，随后将管材类工件套在安装组件外部，随后将镀膜室密封即可启动该镀膜装置，在镀膜时，电机转动带动转台转动，转台上的动齿轮也会随转台一起运动，由于动齿轮中间位置有与之啮合的定齿轮，且定齿轮与镀膜室固接，故动齿轮会在随转台一起运动的同时自动也发生转动，既能保证管材镀膜均匀，又能减少电机的使用量，降低发生故障的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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