[实用新型]一种离子束镀膜装置

权利要求书

1.一种离子束镀膜装置，包括镀膜室(1)、镀膜室(1)的底部固接有电机和与镀膜室(1)内壁固接的离子源，其特征在于，所述镀膜室(1)内部的底部转动连接有转台(2)，所述转台(2)的底部与电机的输出轴固接，所述转台(2)顶部的外侧转动连接有四个动齿轮(3)，所述动齿轮(3)的中间位置啮合有定齿轮(7)，所述定齿轮(7)的顶部固接有固定柱(8)，所述固定柱(8)的顶部与镀膜室(1)固接，所述动齿轮(3)的顶部卡接有安装组件。

2.根据权利要求1所述的一种离子束镀膜装置，其特征在于，所述安装组件包括安装板(4)和立柱(5)，所述安装板(4)的两侧开设有卡槽(401)，所述安装板(4)的顶部固接有立柱(5)，所述立柱(5)的外部套设有管材，所述动齿轮(3)上表面的两侧固接有弹性卡块(6)，所述弹性卡块(6)与卡槽(401)相匹配。

3.根据权利要求2所述的一种离子束镀膜装置，其特征在于，所述弹性卡块(6)的顶部开设有倒角。

4.根据权利要求2所述的一种离子束镀膜装置，其特征在于，所述立柱(5)的顶部为弧形设置。

5.根据权利要求2所述的一种离子束镀膜装置，其特征在于，所述安装板(4)的直径不大于动齿轮(3)的直径。