[实用新型]一种离子束镀膜装置

说明书

本实用新型涉及离子束镀膜设备技术领域，且公开了一种离子束镀膜装置，包括镀膜室、镀膜室的底部固接有电机和与镀膜室内壁固接的离子源，所述镀膜室内部的底部转动连接有转台，所述转台的底部与电机的输出轴固接，所述转台顶部的外侧转动连接有四个动齿轮。该种离子束镀膜装置，将安装组件卡接在动齿轮上，随后将管材类工件套在安装组件外部，随后将镀膜室密封即可启动该镀膜装置，在镀膜时，电机转动带动转台转动，转台上的动齿轮也会随转台一起运动，由于动齿轮中间位置有与之啮合的定齿轮，且定齿轮与镀膜室固接，故动齿轮会在随转台一起运动的同时自动也发生转动，既能保证管材镀膜均匀，又能减少电机的使用量，降低发生故障的概率。

技术领域

本实用新型涉及离子束镀膜设备技术领域，具体为一种离子束镀膜装置。

背景技术

离子束辅助沉积镀膜作为一种金属材料表面改性的手段，可以实现向金属材料表面注入任何种类的元素而不受元素间固溶度的限制，故对与有特殊需求的管材来说，一般都会使用离子束镀膜机对其进行离子束镀膜处理。

经检索，中国专利申请号为CN202120018453.2的专利，公开了一种离子束镀膜装置，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室中设置有主离子源、靶材、辅助离子源和水平的转台；第一电机能够驱动转台自转；所述转台的顶面对称设置有两个夹持机构，每个所述夹持机构均包括与所述转台连接的支架、与所述支架的顶部转动连接的竖直的转盘和转动设置在所述转盘上的夹爪，两个所述转盘上的所述夹爪一一对应，通过对应的两个所述夹爪夹持工件，所述支架上设置有能够驱动所述转盘自转的第二电机，一个所述转盘内设置有能够驱动所述夹爪自转的第三电机。本实用新型的离子束镀膜装置能够实现一次装夹即对工件全身镀膜，提高了镀膜效率且镀膜的均匀性好。上述专利中的离子束镀膜装置装置存在以下不足：

在带动工件进行转动时，需要使用三个电机才能完成对工件的转动，由于需要三个电机相互配合才能完成对工件的转动工作，故一旦转动时有一个电机发生故障就会导致整个设备停转，因此故障发生的可能性更高。

上述情况会造成离子束镀膜装置耗能较高，故障发生率较高。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种离子束镀膜装置，以解决背景技术提出的问题，使得离子束镀膜装置耗能更少，故障发生概率更低。

为实现上述的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子束镀膜装置，包括镀膜室、镀膜室的底部固接有电机和与镀膜室内壁固接的离子源，所述镀膜室内部的底部转动连接有转台，所述转台的底部与电机的输出轴固接，所述转台顶部的外侧转动连接有四个动齿轮，所述动齿轮的中间位置啮合有定齿轮，所述定齿轮的顶部固接有固定柱，所述固定柱的顶部与镀膜室固接，所述动齿轮的顶部卡接有安装组件。

优选的，所述安装组件包括安装板和立柱，所述安装板的两侧开设有卡槽，所述安装板的顶部固接有立柱，所述立柱的外部套设有管材，所述动齿轮上表面的两侧固接有弹性卡块，所述弹性卡块与卡槽相匹配。

优选的，所述弹性卡块的顶部开设有倒角。

优选的，所述立柱的顶部为弧形设置。

优选的，所述安装板的直径不大于动齿轮的直径。

与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

该种离子束镀膜装置，将安装组件卡接在动齿轮上，随后将管材类工件套在安装组件外部，随后将镀膜室密封即可启动该镀膜装置，在镀膜时，电机转动带动转台转动，转台上的动齿轮也会随转台一起运动，由于动齿轮中间位置有与之啮合的定齿轮，且定齿轮与镀膜室的顶部固接，故动齿轮会在随转台一起运动的同时自动也发生转动，既能保证管材镀膜均匀，又能减少电机的使用量，降低能耗和发生故障的概率。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型整体的剖视结构示意图；