[实用新型]电子元件的检测装置有效
| 申请号： | 202222653453.7 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN218885755U | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 李金;陈思乡;李梦梦 | 申请（专利权）人： | 杭州长川科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01;G01B11/00 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 郑梦建 |
| 地址： | 310051 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种电子元件的检测装置，包括物镜、第一分光组件、照明组件、对焦组件及控制部，第一分光组件具有第一状态和第二状态，照明组件能够发射不同波长的光，控制部连接于第一分光组件，用于控制第一分光组件切换第一状态或第二状态，当第一分光组件处于第一状态时，照明组件发射的光线无损耗地经过第一分光组件并经物镜照射至载物平台，当第一分光组件处于第二状态时，对焦组件发射的光线经第一分光组件反射并经物镜照射至载物平台。本实用新型的电子元件的检测装置在第一分光组件处于第一状态时，照明组件的光无损耗地经过第一分光组件，能够减少照明的光损耗，并且将对焦组件集成于检测装置中，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 电子元件 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州长川科技股份有限公司，未经杭州长川科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222653453.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种结构稳定的折叠防护罩
- 下一篇：发动机制动器的内置型泄压阀
