[实用新型]电子元件的检测装置

说明书

本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种电子元件的检测装置，包括物镜、第一分光组件、照明组件、对焦组件及控制部，第一分光组件具有第一状态和第二状态，照明组件能够发射不同波长的光，控制部连接于第一分光组件，用于控制第一分光组件切换第一状态或第二状态，当第一分光组件处于第一状态时，照明组件发射的光线无损耗地经过第一分光组件并经物镜照射至载物平台，当第一分光组件处于第二状态时，对焦组件发射的光线经第一分光组件反射并经物镜照射至载物平台。本实用新型的电子元件的检测装置在第一分光组件处于第一状态时，照明组件的光无损耗地经过第一分光组件，能够减少照明的光损耗，并且将对焦组件集成于检测装置中，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种电子元件的检测装置。

背景技术

电子元件在完成生产制造后，可能存在缺陷，而电子元件本身比较小，电子元件上面的缺陷肉眼较难发现，因此，需要通过电子元件的检测装置来检测缺陷或测量关键尺寸，利用光学显微成像原理对于电子元件进行检测。

现有的电子元件的检测装置，通过分光棱镜或分光片比例分光，存在光损耗问题，并且，现有的电子元件的检测装置不具有对焦组件，在需要对焦时，需要额外向外部拿取对焦组件对焦，使用非常不方便。

实用新型内容

有鉴于此，有必要提供一种能够减少光损耗的电子元件的检测装置。

一种电子元件的检测装置，包括：

物镜，所述物镜的一侧设有载物平台；

第一分光组件，所述第一分光组件具有第一状态和第二状态；

照明组件，所述照明组件设于所述第一分光组件的一侧并能够发射不同波长的光；

对焦组件，所述对焦组件设于所述第一分光组件的一侧，用于使所述载物平台和所述物镜对焦；

控制部，所述控制部连接于所述第一分光组件，用于控制所述第一分光组件切换第一状态或第二状态，当所述第一分光组件处于第一状态时，所述照明组件发射的光线无损耗地经过所述第一分光组件并经所述物镜照射至所述载物平台，当所述第一分光组件处于第二状态时，所述对焦组件发射的光线经所述第一分光组件反射并经所述物镜照射至所述载物平台。

本实用新型的电子元件的检测装置在第一分光组件处于第一状态时，照明组件的光无损耗地经过第一分光组件，能够减少照明的光损耗，并且将对焦组件集成于电子元件的检测装置中，在需要对焦时，通过切换状态实现对焦和照明的切换，无需额外从外部拿取对焦组件进行对焦，使用方便。

在其中一个实施方式中，所述控制部为快门，所述第一分光组件包括第一分光片，所述快门连接于所述第一分光片，并控制所述第一分光片移动，以使所述第一分光组件切换第一状态或第二状态。

可以理解的是，通过快门实现第一分光片的挪移，当需要照明时，快门控制第一分光片移动，照明组件的光直接透过，第一分光片不会阻挡照明组件的光线，也不会对其进行分光，能够减少光损耗，当需要对焦时，对焦组件的光照射到第一分光片上，经第一分光片反射。

在其中一个实施方式中，所述第一分光组件包括第一分光片，所述控制部与所述第一分光片电性连接，所述控制部改变电信号以改变所述第一分光片的光属性，以使所述第一分光组件切换第一状态或第二状态。

可以理解的是，当需要照明时，控制部改变电信号从而改变第一分光片的光属性，增大第一分光片的透射率，使得照明组件的光能够全部透过第一分光片，当需要对焦时，控制部增大第一分光片的反射率，使得对焦组件的光能够较多地被第一分光片反射。

在其中一个实施方式中，所述对焦组件包括第一光源及分划板，所述分划板位于所述第一光源和所述分光组件之间，所述分划板上设有标记。

可以理解的是，通过固定图案搜索对焦，对焦速度更快也更稳定。