[实用新型]一种直线式PECVD设备

摘要

本实用新型提供了一种直线式PECVD设备，其包含多个腔室，从进料端依次包含：进料腔，预热腔、多个反应腔、冷却腔和出料腔；所述进料腔、预热腔、反应腔、冷却腔和出料腔均为独立的腔室，进料腔进料口和出料腔出料口及相邻腔室之间均设有密封隔断组件。当相邻两反应腔进行不同的沉积反应时，该两个反应腔之间还设有独立的缓冲腔；所述缓冲腔与反应腔之间也设有密封隔断组件。该直线式PECVD设备通过各个独立腔室的设置，及进料腔和出料腔的设置可以优化预热腔和冷却腔的功能，将稳定反应腔工艺气体和压力的时间节拍放在预热腔和冷却腔进行，减少反应腔的工艺沉积时间，从而大大缩短了整体节拍，有效提升设备产能。