[实用新型]一种带有加固结构的晶圆减薄机

摘要

本实用新型公开了一种带有加固结构的晶圆减薄机，包括机体以及设置在机体顶部表面的打磨台，所述打磨台的顶部设置有真空吸盘，且真空吸盘上放置有晶圆产品，所述打磨台的顶部对称设置有两个加固机构，所述加固机构包括固定在打磨台顶部表面的基座以及限位组件，所述基座内开设有活动槽，且活动槽内活动设置有底块，所述底块的顶端伸出至基座的顶部，并旋转连接有顶块；通过在原有的晶圆减薄机上设置加固机构，可在该晶圆减薄机对晶圆产品中心处进行减薄打磨时，对晶圆产品起到有效的压紧加固作用，保证晶圆产品减薄打磨时的稳定性，防止从真空吸盘上发生脱落，保证晶圆减薄机的稳定运行。