[实用新型]一种带有加固结构的晶圆减薄机

权利要求书

1.一种带有加固结构的晶圆减薄机，包括机体(1)以及设置在机体(1)顶部表面的打磨台(4)，所述打磨台(4)的顶部设置有真空吸盘(5)，且真空吸盘(5)上放置有晶圆产品，其特征在于：所述打磨台(4)的顶部对称设置有两个加固机构(6)，所述加固机构(6)包括固定在打磨台(4)顶部表面的基座(61)以及限位组件(69)，所述基座(61)内开设有活动槽(65)，且活动槽(65)内活动设置有底块(62)，所述底块(62)的顶端伸出至基座(61)的顶部，并旋转连接有顶块(63)，所述顶块(63)上贯穿设置有伸缩压块(64)，且所述伸缩压块(64)的一端延伸至真空吸盘(5)的顶部，所述底块(62)与活动槽(65)之间设有竖向活动组件(67)，所述伸缩压块(64)与顶块(63)之间设置有横向活动组件(66)。

2.根据权利要求1所述的一种带有加固结构的晶圆减薄机，其特征在于：所述竖向活动组件(67)包括开设在活动槽(65)两侧内壁的侧滑槽(671)，所述侧滑槽(671)的内部滑动设置有侧滑块(672)，且侧滑块(672)的一端与底块(62)相固定，所述侧滑块(672)的顶部还安装有第二弹簧(673)。

3.根据权利要求2所述的一种带有加固结构的晶圆减薄机，其特征在于：所述侧滑槽(671)内还固定有导柱(674)，且侧滑块(672)和第二弹簧(673)均活动套设在导柱(674)上。

4.根据权利要求1所述的一种带有加固结构的晶圆减薄机，其特征在于：所述顶块(63)的两侧表面贯穿开设有与伸缩压块(64)相对应的活动口，所述横向活动组件(66)包括开设在伸缩压块(64)表面的条形滑口(662)，且条形滑口(662)内设置有撑块(661)，所述撑块(661)的两端分别固定在活动口的两侧内壁上，且所述撑块(661)与条形滑口(662)的一侧内壁之间设置有第一弹簧(663)。

5.根据权利要求4所述的一种带有加固结构的晶圆减薄机，其特征在于：所述条形滑口(662)的一侧内壁开设有安装槽，所述撑块(661)的一侧表面固定有导块，所述第一弹簧(663)的一端套在导块上，所述第一弹簧(663)的另一端嵌入至安装槽中。

6.根据权利要求1所述的一种带有加固结构的晶圆减薄机，其特征在于：所述顶块(63)的底部表面固定有T形底杆(68)，且底块(62)套设在T形底杆(68)上，所述底块(62)的中心处开设有与T形底杆(68)相对应的套孔。

7.根据权利要求6所述的一种带有加固结构的晶圆减薄机，其特征在于：所述限位组件(69)包括嵌入固定在套孔内壁的空心橡胶块(691)，所述空心橡胶块(691)的一侧设有一体式的圆形凸起(692)，所述T形底杆(68)的表面均匀开设有四个与圆形凸起(692)相对应的圆形卡槽(693)，所述圆形凸起(692)嵌入至其中一个圆形卡槽(693)中。

8.根据权利要求1所述的一种带有加固结构的晶圆减薄机，其特征在于：所述机体(1)的顶部相对于打磨台(4)的上方还设置有机头(2)，且机头(2)的底端设置有打磨头(3)，所述打磨头(3)位于打磨台(4)的正上方。