[实用新型]场发射扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 202222638403.1 | 申请日： | 2022-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN218826947U | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 阴达;孙斌;张伟 | 申请（专利权）人： | 国仪量子（合肥）技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/14 | 分类号： | H01J37/14;H01J37/147;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 雷玉龙 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种场发射扫描电子显微镜，所述场发射扫描电子显微镜包括源方束张角控制镜、物镜、设于所述源方束张角控制镜和所述物镜之间的像方束张角控制镜、设于所述源方束张角控制镜和所述像方束张角控制镜之间的光圈，所述源方束张角控制镜设有第一极靴，所述像方束张角控制镜设有第二极靴，所述物镜设有第三极靴，所述第一极靴与所述光圈之间、所述光圈与所述第二极靴之间、所述第二极靴与所述第三极靴之间，其中的至少一处设有对中线圈。根据本实用新型实施例的场发射扫描电子显微镜，一方面能实现束流可调节和束张角优化的高度解耦，另一方面可以有效提高电子束调节的自由度，提高电子束与磁透镜的对中效果。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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