[实用新型]一种用于小孔陶瓷内壁均匀金属化的磁控溅射夹具有效
| 申请号： | 202222583240.1 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN218465931U | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 顾沈艺;刘立双 | 申请（专利权）人： | 摩科斯新材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于小孔陶瓷内壁均匀金属化的磁控溅射夹具，涉及夹具结构领域，包括公转动台、安装在所述公转动台上的若干自转动台和安装在所述自转动台上的若干装夹座；所述装夹座包括可调节底座和设置在所述可调节底座上的放置板，所述放置板上开设有若干放料凹槽。本实用新型仍然配合采用斜靶溅射，靶材利用率高、溅射速率高、工艺性能稳定，产品稳定，减少了成本；通过自转和公转的结合，使镀膜更加稳定；通过可调倾角的设计，纵横比大的小孔零件底部膜层仍旧均匀；既保证了斜靶溅射靶材利用率高的效果，又保证了单纯直靶溅射膜厚均匀的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 小孔 陶瓷 内壁 均匀 金属化 磁控溅射 夹具 | ||
【主权项】：
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