[实用新型]一种用于小孔陶瓷内壁均匀金属化的磁控溅射夹具有效
| 申请号： | 202222583240.1 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN218465931U | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 顾沈艺;刘立双 | 申请（专利权）人： | 摩科斯新材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 小孔 陶瓷 内壁 均匀 金属化 磁控溅射 夹具 | ||
1.一种用于小孔陶瓷内壁均匀金属化的磁控溅射夹具，其特征在于：包括公转动台、安装在所述公转动台上的若干自转动台和安装在所述自转动台上的若干装夹座；
所述装夹座包括可调节底座和设置在所述可调节底座上的放置板(7)，所述放置板(7)上开设有若干放料凹槽(8)。
2.根据权利要求1所述的用于小孔陶瓷内壁均匀金属化的磁控溅射夹具，其特征在于：所述公转动台包括公转动安装架(1)、竖直安装在所述公转动安装架(1)上的公转电机(2)、安装在所述公转电机(2)动力输出端的主齿轮(3)、可转动地安装在所述公转动安装架(1)上的从齿轮(4)和安装在所述从齿轮(4)上的公转盘(5)，所述主齿轮(3)与从齿轮(4)相啮合，若干所述自转动台安装在公转盘(5)上。
3.根据权利要求1所述的用于小孔陶瓷内壁均匀金属化的磁控溅射夹具，其特征在于：所述自转动台为带电机的自转盘(6)。
4.根据权利要求1所述的用于小孔陶瓷内壁均匀金属化的磁控溅射夹具，其特征在于：所述可调节底座包括两块平行设置的安装板(9)、横向架设在两块所述安装板(9)之间的转轴(10)和设置在所述转轴(10)两端的弧形调节块(11)，所述弧形调节块(11)上开设有弧形调节槽(12)，调节螺栓(13)穿过所述弧形调节槽(12)与安装板(9)相连接，所述放置板(7)安装在转轴(10)上。
5.根据权利要求1所述的用于小孔陶瓷内壁均匀金属化的磁控溅射夹具，其特征在于：所述放料凹槽(8)内壁设有防滑层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于摩科斯新材料科技（苏州）有限公司，未经摩科斯新材料科技（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202222583240.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电机波箱前盖的压铸模具
- 下一篇：一种基于KNX技术的融合型智能面板
- 同类专利
- 专利分类
