[实用新型]一种温度检测装置及离子注入机台

摘要

本实用新型公开了一种温度检测装置及离子注入机台，该温度检测装置包括机械手臂、驱动装置及温度探头。其中，机械手臂固定安装于离子注入机台的反应腔室内，驱动装置与机械手臂驱动连接，温度探头安装于机械手臂的端部，且与反应腔室内的晶圆吸盘相对设置，以在机械手臂的带动下在晶圆吸盘表面的各个位置移动。由此，本实用新型可以对离子注入时吸附于晶圆吸盘表面的晶圆的温度进行精确测量，进而能够快速可靠监测离子注入时温度的准确性，提高监测效率，减少机台监测使用成本，提高机台的使用率，避免现有离子注入时晶圆吸盘温度达不到目标温度对离子注入效果的影响。