[实用新型]离子源的阳极结构有效
| 申请号： | 202222567043.0 | 申请日： | 2022-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN219592886U | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 苗丁 | 申请（专利权）人： | 惠州市奥普康真空科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20;H01J27/02 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 游銀泉 |
| 地址： | 516127 广东省惠州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种离子源的阳极结构，其包括阳极部、进水部、出水部、分隔部以及盖板部；阳极部设有阳极放电室以及主体，阳极放电室贯穿设于主体的中心位置，主体的内壁套设于阳极放电室外，且主体的内壁与阳极放电室的外壁之间具有间隔空间。进水部包括进水孔以及第一调节孔，进水孔分别与第一调节孔以及间隔空间连通。并与进水部相邻，出水部包括出水孔以及第二调节孔，出水孔分别与第二调节孔以及间隔空间连通。分隔部设于间隔空间内，且位于进水孔与出水孔之间的位置。盖板部覆设于间隔空间。进水孔、间隔空间、出水孔以及盖板部配合形成了冷却水道。本申请结构简单，简化了生产制造的步骤，还使得阳极离子源结构紧凑，体积小。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 阳极 结构 | ||
【主权项】：
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